項目編號：Dlmu-FS-20240396
項目名稱：氧化鎵外延片采購
公示時間：2024年07月30日- 2024年08月02日
擬成交單位 ：天津市萬德思諾國際貿易有限公司
采購預算：130000
采購內容：（001）HVPE外延 4寸氧化鎵外延片，共兩片 襯底主要參數指標： 晶向：（001），厚度：620±20 微米，襯底電阻0.007~0.042Ωcm 外延層主要參數指標： 導電類型：n type，濃度1e16±0.5e16cm-3，厚度10±4 微米 需原廠切割：一片切割成10×10mm，一片切割成8×8mm。 主要技術指標如下：氧化鎵片 描述 | 參數值 | 單位 | 襯底層參數 | 襯底厚度 | 620±20 | μm | 電阻率 | 0.007~0.042 | Ω?cm | 半峰全寬 | 100軸 ≦350 | arcsec | 010軸 ≦350 | arcsec | 襯底晶向 | 001 | / | 正面拋光 | CMP | / | 背面拋光 | Grinding | / | 摻雜 | Sn | / | 外延層參數 | 載流子濃度 | 1±0.5E16 | / | 外延厚度 | 10±4 | μm | 摻雜 | Si＋Cl | / | 加工參數 | 精密切割 | 10×10 | mm | 精密切割 | 8×8 | mm |
|
單一來源理由：本團隊申請購買（001）HVPE外延 4寸氧化鎵外延片。 現在全世界可以做正式產品只有日本NCT和美國Kyma兩家，在做研發的有德國IKZ一家以及國內三家， 日本NCT公司是國際上最早從事氧化鎵商業化銷售的公司，也是目前國際上氧化鎵品質做的最好的，此公司可提供產品（001）HVPE外延 2寸及4寸。 美國Kyma公司只能做出上述（010）襯底產品，其他的產品全都沒有。 德國IKZ目前還在研究階段，暫時還沒產品推出。 國內山東大學晶體所，上海光機所、中電46所這3家研究單位主要從事氧化鎵單晶材料的研究，但目前的研究進度還停留在100面。北京銘鎵半導體目前可提供的產品只有100向及001向的小尺寸襯底片，外延片還在驗證階段。北京鎵和半導體和杭州鎵仁半導體目前只能提供小尺寸的襯底片，無外延片產品。 綜上所述，國內外只有日本NCT公司能提供（001）HVPE外延 4寸氧化鎵外延片產品，而天津市萬德思諾國際貿易有限公司是其氧化鎵外延片的獨家代理。故擬采用校內單一來源采購方式采購。
論證小組成員：曹菲,宋延興,包夢恬
有關單位或個人如對本項目采用校內單一來源采購方式有異議，應在公示期內以書面形式向大連海事大學招投標與采購中心反映。
聯系人：崔老師
聯系電話：13352209224
國有資產與實驗室管理處
招投標與采購中心
2024年07月30日
